?Как изготавливают микрочипы для транспортных карт
На заводе «Микрон» в Зеленограде находится производство карт «Тройка». С 2013 года предприятие выпустило свыше 50 миллионов таких проездных.
Раньше в картах использовали зарубежные микрочипы, но с 2019 года «Тройка» на 100 процентов стала российской разработкой, включая выращивание микросхем.
Процесс изготовления микрочипа включает 33 этапа фотолитографии и занимает от трех до четырех месяцев. Выращивание происходит на кремниевой пластине с чистотой исходного материала — кремния — 99,99 процента.
Далее в герметичные SMIF-контейнеры помещается до 25 кремниевых пластин. Сотрудники загружают их в комнате, где уровень стерильности в 100 раз выше, чем в операционной. Боксы не открывают вплоть до завершения всего цикла нанесения микросхемы.
Одна такая кремниевая пластина служит носителем для десятков тысяч микрочипов. Работа в цеху идет круглосуточно. На топовом оборудовании пластины проходят множество стадий: фотолитографию, химическое травление, ионное легирование, химико-механическую полировку, жидкостную очистку, осаждение диэлектрических и металлических слоев.
Некоторые процессы выполняются в диффузионной печи при температуре извергающейся лавы — 1200 градусов. На каждой фазе работы проводят тестирование, чтобы проверить соответствие параметрам.
В завершение процесса на пластины с микрочипами наносится защитный нитридный слой. Неприкрытыми остаются только участки для подключения проводников.
Более подробно об этапах производства ➡ vk.cc/cusrjZ
#производствоFactpedia #интересныеФакты #москва #столица #тройка #микрочип